高性能薄膜型热流传感器的研发及应用成果，形成的系列热流传感器产品，传感器芯片最小尺寸为3×1mm，有效确保了热流的点测量，且可兼容瞬态和稳态热流测试；利用层状薄膜材料显著的热电各向异性，在单一材料内便可以制备传感器的敏感单元，具备量产性；研制的超快响应热流传感器最快响应时间仅为0.25μs，灵敏度高达[284μV/(W/cm2)],不确定性为5%，优于国外同类产品；研制的耐高温热流传感器可在同一器件中同时满足耐高温（1000℃）和较短的响应时间（40μs） 。