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戴煜

领域：新材料关键词：重大贡献

性别：男专家所属：企业

专家类型：技术（产业）创新

是否已产业：已产业

  • 专家介绍
  • 研究成果
  • 荣誉奖励

  1. 戴煜先生，博士，民革党员，材料学博士学位,1992年参加工作。长沙市政协委员。近年来致力于研究第三代半导体用“四高两涂”碳基材料的技术。他在带领企业发展技术的过程中，自主研制的超高温纯化设备，采用独特的复合高温热化学提纯工艺，突破了高纯碳粉微量杂质去除技术，产品纯度可达6N以上；自主研制的化学气相沉积装备，突破了TaC涂层制备关键技术，其产品性能达到国际先进水平，实现了第三代半导体用关键材料与装备的自主可控与产业化。

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     


     

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    （注：数据来源于公开描述）

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     
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    （注：数据来源于公开描述）

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

     

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