专注于离子注入机研发与制造，突破大流强离子源、高速晶圆传输等关键技术，形成覆盖28nm工艺的全系列产品（中束流、大束流、高能、特种等）。实现集成电路核心装备的自主可控，打破国外垄断，是保障我国芯片产业链安全的关键企业，国产替代需求迫切。广泛用户集成电路芯片制造生产线。
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